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制备氟化铪的方法有干法氟化法和湿法氟化法，这两种方法一般都采用HfO2为原料制备。其中干法氟化法包括氟化氢(HF)气体氟化法和氟化氢铵(NH4HF2)氟化法，氟化氢气体氟化法反应温度高，操作危险性高，尾气回收困难；NH4HF2法操作相对安全
