瞄准氧化镓未来！！

除了Si功率器件和大热的第三代半导体之外 业界也开始对氧化镓(Ga2O3 )投入了兴趣关于氧化镓此前也有不少关于技术方面的报道《潜力无限的氧化镓》 氧化镓被视为是更新一代的半导体材料 它比起以往的电子元件更有效率 在晶圆价格方面也比SiC 等要更为低廉 据Fact.MR的研究 与2020年相比 预计2030年全球氧化镓市场的价值将增加 2.8倍 其中5N级（氧化镓市场等级有4N 5N 6N）产品占据全球氧化镓市场近66%的份额。

据日本氧化镓企业Novel Crystal Technology（NCT）的介绍 β-氧化镓是一种新型的半导体功率器件材料 具有比SiC和GaN更大的带隙能量 因此 很有可能被用于制造高电压低电阻的半导体 此外 由于它是从熔体中生长β-氧化镓单晶 与SiC和GaN相比 它的生长速度较快 而且其substrate process也叫容易 所以可以以低成本向市场提供高质量的基材。

在 氧 化 镓 方 面 的 研 究 日 本 相 对 较 领 先 其 中 Tamura Corporation, Novel CrystalTechnology, 和Kyma Technologies是比较领先的氧化镓供应商 2012年日本首先实现2英寸现量产国内方面 氧化镓自2017年开始逐步成为中国的热点 2017年9月份 科技部高新司重点研发计划把氧化镓列入其中 2018年3月 北京市科委率先开展了前沿新材料的研究 把氧化镓列为重点项目。

韩国政府在今年4月1日发布了先进功率半导体研发和产能提升计划 韩国政府计划到 2025年将市场竞争力提升到全球水平 到那时至少可以从韩国获得五种先进的功率半导体产品将针对SiC GaN 氧化镓三种材料开展应用技术和技术攻关 突破有机硅材料的局限性助力国内企业的材料和晶圆研发工作

结语

可喜的是 无论是IGBT MOSFET 还是SiC以及GaN 甚至是现在超前的氧化镓领域中国都有厂商布局 并且正在不断研发和生产 开始慢慢取得一席之地。